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| 加工定制：否 | 品牌：美国CAI | 型号：ZAF |
 用途 |
| 半导体装置的H2气体浓度测量氢气发生装置的H2气体浓度测量烧结炉的H2气体浓度测量煤气发生设备的Ar、He、CH4浓度测量超导装置的He气体浓度测量空气分离设备的Ar气体浓度测量 |
主要规格 |
| 标准规格 | 测量方式 | 热传导式 | |
| 测量组分 | He、Ar、H2、CH4、CO2 | ||
| 测量范围 | H2：0～3……100％，100～90，100～80％ He：0～5……100％，100～90，100～80％ Ar：0～10……100％，100～90，100～80％ CH4：0～20……100％，100～80％ | ||
| 输出信号 | DC4～20mA、DC0～1V、DC0～10mV 非隔离输出（其中某一点，根据型号指定） | ||
| 容许负载电阻 | 不超过550（DC4～20mA输出时） | ||
| 输出电阻 | 100k（DC0～1V、DC0～10mV时） | ||
| 显示器 | 带背光LCD | ||
| 测量值显示 | 最多4位或小数点后带2位 | ||
| 输出信号保持 | 手动校正、自动校正时保持校正前的输出值 | ||
| 电源电压、功耗 | AC100～240V 50/60Hz、约50VA | ||
| 环境温度、湿度 | －5～45℃、不超过90%RH（应无结露） | ||
| 安装方法 | 面板嵌入型 | ||
| 外形尺寸(H×W×D) | 240×192×213mm | ||
| 重量 | 约5kg | ||
| 外壳类型 | 钢板制外壳、室内型 | ||
| 气体出入口、换气口 | Rc1/4或NPT1/4（根据指定） | ||
| 换气气体的流量 | 约1L/min（根据需要进行） | ||
| 适用标准 | CE标记（预定取得认证） | ||
| 性能 | 重复性 | ±1%FS | |
| 漂移 | 零点：±2% FS/周 以内（H2分析仪） 满量程点：±2% FS/周 以内（H2分析仪） | ||
| 响应速度(90%响应) | 标准：60秒以内（0.4L/min流量） 高速：10秒以内（1L/min流量） 但仅限H2分析仪（参比气为N2） | ||
| 标准测量气体条件 | 温度 | 0～50℃ | |
| 气体流量 | 0.4±0.05 L/min 且应稳定 | ||
| 尘埃 | 不超过1µm的微粒， 不超过100µg/Nm3 | ||
| 压力 | 不超过10kPa | ||
| 气雾、腐蚀性气体 | 无 | ||
| 水分 | 不超过2℃饱和 | ||
| 选配件规格 | 线性化 | 对测量值输出信号（DC4～20mA）附加线性化 直线度不超过 ±2%FS | |
| 继电器接点输出 | 5点的1a输出 继电器接点容量：AC220V/2A（阻性负载） 各接点间以及与内部电路之间为继电器隔离 以下功能最多可选择5项
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| 接点输入 | 3点无电压接点输入 ON：0V、OFF：DC5V、ON时电流5mA 与内部电路为光耦合器隔离、接点输入之间为非隔离 可输入以下3点
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| 干涉气体测量值输入 | H2分析仪干涉用模拟量输入（DC1～5V） | ||
| 自动校正功能 | 按照事先设定的周期自动进行零点、满量程的校正。驱动设置在外部的电磁阀，校正气体即依次流动。 | ||
| 通信功能 | RC232C（9针D-sub输出） | ||
