洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级 (N)
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大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
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0.5μm
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1μm
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5μm
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1
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10
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2
|
||||
2
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100
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24
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10
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4
|
||
3
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1000
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237
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102
|
35
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8
|
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4
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10000
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2370
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1020
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352
|
83
|
|
5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
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832
|
29
|
6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
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8320
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293
|
7
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352000
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83200
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2930
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8
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3520000
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832000
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29300
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9
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35200000
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8320000
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293000
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