应用领域:
超纯电子材料超纯水处理
精密电子超纯水处理
半导体材料和集成电子超纯水处理
其它微电子用水处理
典型工艺流程
原水——原水箱——原水泵——多介质过滤器——活性碳过滤器——保安过滤器——高压泵——
反渗透——纯水箱——送水泵——紫外线装置——出水
反渗透装置运行参数:
1、回收率:60-75%
2、操作压力:1-1.5Mpa
3、细菌去除率:大于99%
4、出水导电率:小于10μs/c
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商品详情
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半导体材料和集成电子超纯水处理
其它微电子用水处理
典型工艺流程
原水——原水箱——原水泵——多介质过滤器——活性碳过滤器——保安过滤器——高压泵——
反渗透——纯水箱——送水泵——紫外线装置——出水
反渗透装置运行参数:
1、回收率:60-75%
2、操作压力:1-1.5Mpa
3、细菌去除率:大于99%
4、出水导电率:小于10μs/c
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