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臭氧发生器-预防措施-厂家-净典供
安全预防
2 不能使用其他气体代替设备指定规格的气体；
3 绝不允许任何外来物质进入臭氧发生器，避免臭氧催化剂进入臭氧气管。
预防措施：
1. 确保臭氧气柜的排风工作正常；
2. 连接所有的进口和出口的气体管道，并且使用SS不镀银的VCR垫片；
3. 不要打开外部气体管路或者设备连接管路，除非SEMOZONE已通入氮气清洁管道；
4. 在臭氧发生器运行前一定要检查紧固所有的臭氧管路；
5. 观察如果臭氧检测装置臭氧浓度超过TLV设定值，会不会停止臭氧发生器。
