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  • LED晶片平面度度光学检测仪(蓝宝石片/外延片) 浏览次数:820次
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  • 供货总量:100 台
  • 所在地:广东 深圳市
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  • 最后更新:2012-11-08 19:02
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商品详情

类型:LED基片平坦度光学检测仪测量时间:0.2(s) 型号:FT-17/ FT-900
品牌:Nidek加工定制:否测量重复性:99.999(%)
测量范围:2000000(um) 测量准确度:99.9999(%)

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

此外,它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。

FT-17 Series

FT-900 Series

无解析

无显示

带解析

带解析

(V2规格)

无解析

无显示

带解析

带解析

(V2规格)

测定方法

光波干涉方式(斜入射)

光源

半导体激光(655nm、3mW)

He-Ne激光(632.3A、5mW)

样本尺寸

直径130mm以下

(平坦度测定100mm以下)

直径200mm以下

样本厚度

2000um以下(根据测量承载台不同,最大可达10mm),其他厚度需客户另行协商

样本种类

Wafer(Si、化合物、酸化物、玻璃)、金属片、硬盘(铝、玻璃)等镜面和非镜面(反射率低的非镜面不可测试)

样本倾斜角度

垂直方向倾斜8度

垂直或垂直方向倾斜8度

干涉计设定敏感度

1、2、3、4、5u/纹理(下底面基准时只有1、2um/纹理,且厚度1mm以上时1um/纹理)

测定范围

纹理敏感度30倍(根据纹理状况以及测试镜头倍率关系,有时不能达到30倍)

摄影镜头倍率

3倍以上

显示分解能

0.01um

0.01um

重复精度

Repeatability:1б

0.02S+0.02M(um)

条件:样本设定后连续测试

S:纹理敏感度

M:测定值

0.02S+0.02M(um)

条件:样本设定后连续测试

S:纹理敏感度

M:测定值

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用,特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。

据不完全统计,至2011年底该产品已被国内LED外延片30多家厂家所使用。

Tel: +86 755 82828506
Fax: +86 755 22630664
Email:we@harvestera.cn
Http://www.harvestera.com.cn

日本明德贸易(株)深圳代表处深圳福田区财富广场B-18FG (邮编 518040)
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诚信档案

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  • 会员级别:有限责任公司
  • 认证类型:个人认证
  • 主营产品:半导体制造装备;光伏电池制造装备;光伏硅片制造装备;LED芯片制造装备;LED衬底材料制造装备;FPD生产装备;信息名址系统;IC芯片技术咨询;光电材料;高科技产业技术咨询;石材板料
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